PSA制氧機主要由空氣壓縮機、空氣冷卻器，空氣緩沖罐、切換閥、吸附器和氧氣平衡罐組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉塵埃顆粒后,被空氣壓縮機增壓至3~4barg而進入其間一只吸附器內。吸附器內裝填吸附劑,其間水分、二氧化碳、及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附,隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包含氬氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣平衡罐。當該吸附器吸附到必定程度,其間的吸附劑將達到飽和狀態,此時通過切換閥放空，已吸附的水分、二氧化碳、氮氣及少量其它氣體組分排至大氣,吸附劑得到再生。

PSA的每個吸附器都替換執行以下過程:

---吸附---解吸---沖壓

上述三個基本的工藝過程由PLC和切換閥體系來完成自動控制。

變壓吸附制氧設備（也稱PSA制氧設備），在常溫常壓的條件下，使用PSA分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質，然后取得純度較高的氧氣(93%±2)。變壓吸附制氧設備自進入工業化以來，技能發展迅速，因為其價格性能比在中低產量范圍及純度要求不太高的場合具有較強的競爭力，因而被廣泛地應用于煉鋼助熔、高爐富氧、紙漿漂白、玻璃爐窯、廢水處理等范疇。國內對這項技能的研究起步較早，然而在較長的一段時間內發展相對較緩。自進入九十年代以來，變壓吸附制氧設備的*性逐步被國人認可，近幾年各種流程的設備相繼投產